PICOSUN® Sprinter는 번들 영화의 기록적인 품질을 제공합니다.

에스 포, 핀란드그리고 2021 년 5 월 19 일 / PRNewswire /-Picosun Group은 PICOSUN을 개선했습니다.® Sprinter ALD 시스템은 반도체, 디스플레이 및 IoT 부품 제조 라인을 성공적으로 처리합니다.

Picoson® 스프린터 ALD Al2 공정 결과는 90 ° C의 낮은 침전 온도에서도 우수한 두께 균일 성을 보여 주었다. 300 ° C에서 결과는 칩 내부에서 측정했을 때 표준 (<0.2 % 1 시그마)이었습니다. 또한 팀은 프로세스 성능의 다른 부분을 계속 개선했습니다. 균일 성 저하없이 공정주기 시간이 8 초로 단축 된 지난 2 개월 동안 생산 능력이 두 배 이상 증가했습니다. 다른 예에는 SiO가 포함됩니다.2 라인 백엔드 SiO 열 컨트롤러의 균일 한 멤브레인을 보여준 공정 결과2 300-390 ° C에서 ALD 작동. 이러한 개선 사항 및 기타 프로세스에 대한 자세한 정보는 요청시 제공됩니다.

그만큼2 이미지 센서 및 디스플레이 용 수분 장벽과 같은 응용 분야에서 가장 일반적인 침전 필름 중 하나입니다. SiO2 박막은 스페이서 또는 다중 모드 애플리케이션으로 로직 칩과 같은 제조 공정에서 널리 사용됩니다. 민감한 기판은 필름 품질을 손상시키지 않으면 서 낮은 강수량 또는 낮은 열 예산을 요구할 수 있습니다. 이는 회사가 PICOSUN에서 직면하고 싶었던 과제 중 하나입니다.® 적의.

Picosun Group은 300mm 칩용 고속 배치 ALD 도구 인 Sprinter를 2020 년 12 월. 우리는 빠른 배치를 처리하고 ALD 대량 생산의 과제를 해결하기 위해 단일 웨이퍼 필름의 품질과 표준화를 제공하고자했습니다. 우리의 솔루션은 시장에서 많은 관심을 받고 있으며 이미 많은 Sprinter ALD 시스템을 고객에게 제공하고 있습니다.”라고 그는 말합니다. 요한나 코스타 모, Picosun 그룹 산업 비즈니스 지구 부사장.

PICOSUN에 대해 자세히 알아보기® 적의

Picosun은 가장 진보 된 AGILE ALD를 제공합니다.® (원자 층 증착) 글로벌 산업을위한 박막 코팅 솔루션. Picosun의 ALD 솔루션은 턴키 생산 프로세스와 기술 자체의 발명으로 거슬러 올라가는 업계 최고의 전문 지식을 통해 미래로의 기술 도약을 가능하게합니다. 오늘, PICOSUN® ALD 장비는 전 세계의 많은 주요 산업에서 제조에 매일 사용됩니다. Picosun 본사는 핀란드, 자회사와 함께 독일그리고 아메리카 합중국그리고 싱가포르그리고 일본그리고 대한민국그리고 중국 본토와 대만, 사무실 인도 그리고 프랑스, 그리고 글로벌 영업 및 지원 네트워크. 방문 www.picosun.com.

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추가 정보
요한나 코스타 모
Picoson Group 산업 비즈니스 지구 부사장
전화 : +358 50369 9565
이메일: [email protected]
www.picosun.com

이 정보는 Cision에서 제공했습니다. http://news.cision.com

https://news.cision.com/picosun-oy/r/picosun–sprinter-demonstrates-record-breaking-batch-film-quality,c3348626

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출처 : Picosun Oy

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